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德铁可以使芯片波导从红外脉冲产生宽带光。
由新加坡技术与设计大学(SUTD)副教授Dawn Tan和A*STAR微电子学院(A*STAR IME)硅光子系主任罗X修博士率领的新加坡研究团队开发出低损硅硝化波导,在芯片上产生宽带光. 通过用更重同位素"去铁"来取而代之的氢,该团队用低温工艺将低损的SiN波导用8英寸的瓦片上制造出一款低损的SiN波导,证明了其大规模制造的潜力并结合了CMOS相容的半导体工艺.。
（编译自 Phys.org；原文 https://phys.org/news/2026-08-deuterium-enables-chip-waveguides-generate.html，编译转述，非原文转载）
来源：Phys.org（原文）
本文系本站对该英文资讯的编译与转述，非全文翻译；版权归原作者所有。
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